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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-03-30 | 公开 | 公开 |
| 2014-01-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685693261 IPC(主分类):G01K 7/16 专利号:ZL2009100577696 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司 变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号 变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 登记生效日:20131219 |
| 2011-05-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101071491014 IPC(主分类):G01K 7/16 专利申请号:2009100577696 申请日:20090820 |
| 2012-08-01 | 授权 | 授权 |