一种薄膜卡盘

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220437763.9
申请日
2012-08-30
公开(公告)号
CN202763103U
公开(公告)日
2013-03-06
发明(设计)人
易阳
申请人
申请人地址
214174 江苏省无锡市惠山区堰桥路35-6号
IPC主分类号
B23B3120
IPC分类号
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
胡彬
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
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