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激光烧蚀单元
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201480029211.6
申请日
:
2014-03-24
公开(公告)号
:
CN105324832A
公开(公告)日
:
2016-02-10
发明(设计)人
:
德特勒夫·巩特尔
丹尼尔·格罗利蒙德
浩·王
申请人
:
申请人地址
:
瑞士苏黎世
IPC主分类号
:
H01J4904
IPC分类号
:
H01J4910
代理机构
:
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
代理人
:
汤慧华;郑霞
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2016-02-10
公开
公开
2016-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650094470 IPC(主分类):H01J 49/04 专利申请号:2014800292116 申请日:20140324
2017-11-10
授权
授权
共 50 条
[1]
激光烧蚀
[P].
彼得·巴林
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彼得·巴林
.
中国专利
:CN1478007A
,2004-02-25
[2]
用于制造电池单元的激光烧蚀
[P].
T.韦格曼
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T.韦格曼
;
S.卢基奇
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S.卢基奇
;
A.M.萨斯特里
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A.M.萨斯特里
;
汪家伟
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汪家伟
;
陈彦宏
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陈彦宏
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张香春
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张香春
;
金贤哲
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金贤哲
;
郑明途
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郑明途
.
中国专利
:CN111095609A
,2020-05-01
[3]
具有烧蚀的材料的抽取的激光烧蚀
[P].
S·诺弗尔
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S·诺弗尔
.
中国专利
:CN103153521A
,2013-06-12
[4]
激光烧蚀系统
[P].
A·V·洛博达
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A·V·洛博达
.
中国专利
:CN109791868A
,2019-05-21
[5]
交错激光烧蚀
[P].
K·L·吉林斯
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K·L·吉林斯
.
中国专利
:CN211661335U
,2020-10-13
[6]
激光烧蚀抗蚀剂
[P].
S·E·飞利普
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S·E·飞利普
;
T·J·崔威尔
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T·J·崔威尔
;
L·W·塔特
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L·W·塔特
;
G·T·皮尔斯
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G·T·皮尔斯
;
K·恩古颜
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K·恩古颜
;
R·M·威克勒
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R·M·威克勒
.
中国专利
:CN101454720B
,2009-06-10
[7]
激光烧蚀机
[P].
谢大浪
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
谢大浪
;
黄运
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机构:
深圳市大族半导体装备科技有限公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
黄运
;
郑新民
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机构:
深圳市大族半导体装备科技有限公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
郑新民
;
吕晨曦
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
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吕晨曦
;
江军
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
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江军
;
张伟胜
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
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张伟胜
;
尹建刚
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
尹建刚
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唐建刚
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
深圳市大族半导体装备科技有限公司
唐建刚
.
中国专利
:CN309485717S
,2025-09-09
[8]
第二表面激光烧蚀
[P].
H·A·鲁特恩
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H·A·鲁特恩
;
K·L·吉林斯
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K·L·吉林斯
;
D·L·巴尔曼
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D·L·巴尔曼
.
中国专利
:CN106794553A
,2017-05-31
[9]
激光烧蚀扫描法
[P].
K·L·奥普戴克
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K·L·奥普戴克
.
中国专利
:CN1090803A
,1994-08-17
[10]
用于封装制造的激光烧蚀
[P].
K·莱斯彻基什
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K·莱斯彻基什
;
类维生
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类维生
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J·L·富兰克林
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J·L·富兰克林
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J·德尔马斯
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J·德尔马斯
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陈翰文
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陈翰文
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G·帕克
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G·帕克
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S·文哈弗贝克
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S·文哈弗贝克
.
中国专利
:CN113643983A
,2021-11-12
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