薄膜厚度的检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621077692.0

申请日：

2016-09-23

公开(公告)号：

CN206095140U

公开(公告)日：

2017-04-12

发明(设计)人：

戚务昌宋荣鑫

申请人：

申请人地址：

264209 山东省威海市火炬高技术产业开发区火炬路159号

IPC主分类号：

G01B706

IPC分类号：

G07D7164

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

赵囡囡;吴贵明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜厚度的检测装置 [P].

戚务昌 ;

宋荣鑫 .

中国专利 :CN106289039A ,2017-01-04

[2]

薄膜的厚度检测装置 [P].

戚务昌 ;

宋荣鑫 ;

王凯 ;

段平 ;

杜忺峰 .

中国专利 :CN107860304A ,2018-03-30

[3]

薄膜的厚度检测装置 [P].

戚务昌 ;

宋荣鑫 ;

王凯 ;

段平 ;

杜忺峰 .

中国专利 :CN207395650U ,2018-05-22

[4]

厚度检测装置 [P].

姜利 ;

张凯 .

中国专利 :CN205505966U ,2016-08-24

[5]

厚度检测装置 [P].

姜利 ;

张凯 .

中国专利 :CN105806206A ,2016-07-27

[6]

厚度检测装置 [P].

姜利 ;

林永辉 .

中国专利 :CN206019570U ,2017-03-15

[7]

厚度检测装置 [P].

王辉 ;

姜利 ;

宋荣鑫 .

中国专利 :CN106352783B ,2017-01-25

[8]

厚度检测装置 [P].

王辉 ;

姜利 ;

宋荣鑫 .

中国专利 :CN206019569U ,2017-03-15

[9]

新型薄膜厚度检测装置 [P].

孙德刚 ;

唐建东 .

中国专利 :CN202903141U ,2013-04-24

[10]

用于薄膜厚度检测装置 [P].

赵伯全 ;

刘籍文 .

中国专利 :CN104390619A ,2015-03-04

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