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一种芯片生产用清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120853288.2
申请日：
2021-04-23
公开(公告)号：
CN214683202U
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
章圣武
申请人：
申请人地址：
264200 山东省威海市环翠区嵩山路106-3号
IPC主分类号：
B08B310
IPC分类号：
B08B1300
H01L2167
代理机构：
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504
代理人：
陆婉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 授权 | 授权 |
| 2022-07-12 | 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 | 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B08B 3/10 登记号:Y2022980008925 登记生效日:20220624 出质人:威海银创微电子技术有限公司 质权人:上海浦东发展银行股份有限公司威海分行 实用新型名称:一种芯片生产用清洗装置 申请日:20210423 授权公告日:20211112 |