一种用于多晶硅锭制备的复合涂层石英坩埚

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020534693.X
申请日
2010-09-16
公开(公告)号
CN201842894U
公开(公告)日
2011-05-25
发明(设计)人
杨业林 陈宝昌
申请人
申请人地址
225600 江苏省高邮市经济开发区长江路科技创新中心
IPC主分类号
C30B1510
IPC分类号
C30B1100 C30B2906
代理机构
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人
徐激波
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于多晶硅锭制备的复合涂层石英坩埚 [P]. 
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[2]
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[3]
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[5]
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[6]
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[8]
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[9]
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