一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710990339.4

申请日：

2017-10-22

公开(公告)号：

CN107608177A

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

谷岩林洁琼卢明明李景鹏张群孙慧岩郑恭承易正发冯开拓曹东旭刘阳孙彦东

申请人：

申请人地址：

130000 吉林省长春市延安大街2055号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

G03F716 G03F720

代理机构：

吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100

代理人：

魏征骥

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20171022
2018-01-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置 [P].

谷岩 ;

周岩 ;

林洁琼 ;

李景鹏 ;

张群 ;

孙慧岩 ;

郑恭承 ;

易正发 ;

冯开拓 ;

曹东旭 ;

刘阳 ;

孙彦东 .

中国专利 :CN207301617U ,2018-05-01

[2]

一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法 [P].

谷岩 ;

林洁琼 ;

卢明明 ;

李景鹏 ;

张群 ;

孙慧岩 ;

郑恭承 ;

易正发 ;

冯开拓 ;

曹东旭 ;

刘阳 ;

孙彦东 .

中国专利 :CN107608177B ,2024-01-02

[3]

采用超大尺寸软膜模板进行大面积压印的纳米压印装置 [P].

冀然 .

中国专利 :CN208766456U ,2019-04-19

[4]

一种纳米压印大面积脱模装置 [P].

郝宗斌 ;

邓萌萌 .

中国专利 :CN119376181A ,2025-01-28

[5]

一种大面积纳米压印软模具复制装置及方法 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN105034344B ,2015-11-11

[6]

一种大面积气压式纳米压印装置及其压印方法 [P].

邓萌萌 ;

周豪 .

中国专利 :CN121142897A ,2025-12-16

[7]

一种用于大面积纳米压印的自适应压印头 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN203217240U ,2013-09-25

[8]

一种用于大面积纳米压印的自适应压印头 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN103246161B ,2013-08-14

[9]

一种大面积纳米压印软模具复制装置 [P].

兰红波 .

中国专利 :CN204640788U ,2015-09-16

[10]

一种用于大面积纳米压印的自适应压印头 [P].

陈腾 ;

刘志宇 ;

何凯 ;

万红日 ;

张娜 .

中国专利 :CN216286148U ,2022-04-12

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