一种砷化镓单晶炉电气控制系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120534454.9
申请日
2011-12-20
公开(公告)号
CN202583787U
公开(公告)日
2012-12-05
发明(设计)人
吴莉 何连洋
申请人
申请人地址
100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号
IPC主分类号
G05B1905
IPC分类号
C30B2942 C30B3500
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种砷化镓单晶炉电气控制系统 [P]. 
吴莉 ;
何连洋 .
中国专利 :CN102445919A ,2012-05-09
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沈浩平 ;
高树良 ;
刘嘉 ;
刘为钢 .
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