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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-09-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 专利申请号:201310351597X 申请日:20130813 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625003553 |
| 2017-12-19 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/06 申请公布日:20140219 |
| 2014-02-19 | 公开 | 公开 |
| 2015-09-02 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101720119471 IPC(主分类):C23C 14/06 专利申请号:201310351597X 变更事项:申请人 变更前:冯·阿德纳设备有限公司 变更后:冯·阿德纳有限公司 变更事项:地址 变更前:德国德累斯顿 变更后:德国德累斯顿 |