共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
碳膜覆盖部件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02142923.5
申请日：
2002-08-21
公开(公告)号：
CN1419262A
公开(公告)日：
2003-05-21
发明(设计)人：
佐藤道雄
山野边尚
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所
代理人：
胡烨
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2003-05-21 | 公开 | 公开 |
| 2006-03-22 | 授权 | 授权 |
| 2022-07-29 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20020821 授权公告日:20060322 终止日期:20210821 |
| 2003-08-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |