集成电路生产车间除尘系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610867153.5

申请日：

2016-09-29

公开(公告)号：

CN106424060A

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

吕耀安

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

B08B1500

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

孙力坚;聂启新

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-18	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B08B 13/00 申请公布日:20170222
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708776774 IPC(主分类):B08B 13/00 专利申请号:2016108671535 申请日:20160929
2017-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

集成电路生产车间用低位除尘控制系统 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106391636A ,2017-02-15

[2]

集成电路生产车间 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106285081A ,2017-01-04

[3]

集成电路生产车间用抽尘系统 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106269767A ,2017-01-04

[4]

集成电路生产车间用悬吊式除尘管 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106424018A ,2017-02-22

[5]

集成电路生产车间用低位通风除尘装置 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106419739A ,2017-02-22

[6]

集成电路生产车间用地面抽尘装置 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106419735A ,2017-02-22

[7]

具有除尘功能的集成电路生产设备 [P].

胡大鹏 ;

简文烯 .

中国专利 :CN220511341U ,2024-02-20

[8]

集成电路 [P].

小池健 ;

原英之 .

中国专利 :CN113238676A ,2021-08-10

[9]

集成电路、操作集成电路的方法和具有集成电路的装置 [P].

金范柱 .

中国专利 :CN104422878A ,2015-03-18

[10]

一种生物质颗粒生产车间的除尘系统 [P].

梁作伟 ;

刘学彬 .

中国专利 :CN205517035U ,2016-08-31

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