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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-04-20 | 授权 | 授权 |
| 2016-04-20 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101731256461 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012105938851 变更事项:发明人 变更前:柴正;王东;宁静;韩砀;闫景东;张进成;郝跃 变更后:王东;宁静;柴正;韩砀;闫景东;张进成;郝跃 |
| 2013-10-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101525544400 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012105938851 申请日:20121231 |
| 2013-04-24 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20190613 变更事项:专利权人 变更前权利人:西安电子科技大学 变更后权利人:西安海辰兴新材料科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号 变更后权利人:710075 陕西省西安市高新区高新一路7号高新枫尚2幢2单元21503室 |
| 2022-12-09 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20121231 授权公告日:20160420 终止日期:20211231 |