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提高电容薄膜性能的镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620853791.7
申请日：
2016-08-05
公开(公告)号：
CN205874525U
公开(公告)日：
2017-01-11
发明(设计)人：
陈正六
申请人：
申请人地址：
325102 浙江省温州市乐清经济开发区纬十九路298号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
汤东凤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-01-11 | 授权 | 授权 |
| 2020-07-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20160805 授权公告日:20170111 终止日期:20190805 |