可移动支撑件和光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680040545.2

申请日：

2016-04-28

公开(公告)号：

CN107850852B

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

A·F·J·德格鲁特 T·A·M·汝伊尔 C·L·瓦伦汀 C·维尔纳

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	公开	公开
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160428
2021-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底支撑件和光刻设备 [P].

T·N·M·西格 ;

黄壮雄 ;

N·J·J·罗塞 .

:CN120188104A ,2025-06-20

[2]

衬底支撑件和光刻设备 [P].

N·J·J·罗塞特 ;

E·J·C·伯斯 ;

S·K·拉万斯贝根 ;

F·P·A·范德贝克莫尔特 ;

黄壮雄 ;

S·H·霍塞尼 ;

D·德瓦恩吉 ;

D·J·F·赫克 ;

W·F·G·M·赫尔托格 ;

J·M·A·霍夫曼 ;

S·布洛姆 ;

C·M·洛普斯 .

:CN121002449A ,2025-11-21

[3]

衬底支撑件和光刻设备 [P].

D·蓬特托尼 ;

N·J·J·罗塞 ;

T·N·M·西格 ;

J·惠伯特斯 ;

S·K·拉文斯伯格 ;

黄壮雄 .

:CN119547014A ,2025-02-28

[4]

用于光刻设备的衬底支撑件和光刻设备 [P].

E·阿勒马克 ;

A·考沃埃特斯 ;

R·拉法尔 ;

N·坦凯特 ;

C·路吉腾 ;

H-K·尼恩惠斯 .

中国专利 :CN104937494A ,2015-09-23

[5]

支撑件、光刻设备和器件制造方法 [P].

N·J·吉利森 ;

M·A·W·库杰帕斯 ;

门诺·费恩 ;

A·J·C·斯吉本 ;

M·F·P·斯米茨 .

中国专利 :CN103135361A ,2013-06-05

[6]

衬底支撑件、光刻设备和装载方法 [P].

J·奥努勒 ;

A·F·J·德格罗特 ;

W·西门斯 ;

D·F·弗勒斯 .

中国专利 :CN115494703A ,2022-12-20

[7]

盖环、衬底支撑件和光刻设备 [P].

G·克拉默 ;

D-J·彼杰沃埃特 ;

A·J·P·M·弗米尔 ;

R·P·H·哈尼格拉夫 ;

G·W·H·范德福斯特 ;

F·H·G·芬尼斯 ;

埃里克·W·博加特 .

:CN121002444A ,2025-11-21

[8]

衬底支撑件、光刻设备和装载方法 [P].

J·奥努勒 ;

A·F·J·德格罗特 ;

W·西门斯 ;

D·F·弗勒斯 .

中国专利 :CN109073990B ,2018-12-21

[9]

光刻设备和支撑结构背景 [P].

A·贾奇 .

中国专利 :CN109690406A ,2019-04-26

[10]

具有主动式底架支撑件的光刻设备 [P].

H·巴特勒 ;

B·H·M·布克基马 ;

C·A·L·德霍恩 ;

M·W·J·E·威吉克曼斯 .

:CN112965346B ,2024-07-30

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