测定方法和测定装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980026272.X

申请日：

2019-04-10

公开(公告)号：

CN111989763A

公开(公告)日：

2020-11-24

发明(设计)人：

三村勇之鹤田茂登真锅英二日诘久则

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-24	公开	公开
2021-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190410

共 50 条

[1]

测定方法和测定装置 [P].

久保敬 ;

杉田吉平 ;

岛津悠平 .

中国专利 :CN115580974A ,2023-01-06

[2]

测定方法和测定装置 [P].

三村勇之 ;

鹤田茂登 ;

真锅英二 ;

日诘久则 .

日本专利 :CN111989763B ,2024-08-02

[3]

测定方法和测定装置 [P].

兼田悠 ;

中谷彩乃 .

中国专利 :CN109406591A ,2019-03-01

[4]

测定装置和测定方法 [P].

小栗一之 ;

远藤知弘 ;

川田秀信 ;

近藤靖志 ;

村中武 .

中国专利 :CN103354906B ,2013-10-16

[5]

测定装置和测定方法 [P].

冈田修平 ;

田中宏明 .

日本专利 :CN113711010B ,2024-09-03

[6]

测定装置和测定方法 [P].

冈田修平 .

中国专利 :CN115144359A ,2022-10-04

[7]

测定方法和测定装置 [P].

西泽佑司 ;

四辻淳一 ;

津田和吕 ;

大重贵彦 .

中国专利 :CN103765158B ,2014-04-30

[8]

测定装置和测定方法 [P].

渡边由纪夫 .

日本专利 :CN112986104B ,2025-05-13

[9]

测定装置和测定方法 [P].

小川润一 .

日本专利 :CN120507302A ,2025-08-19

[10]

测定装置和测定方法 [P].

所司原友弘 ;

白木裕章 ;

胜木幸治 .

中国专利 :CN102548475A ,2012-07-04

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