共 50 条
氧化钇基涂层组成物
被引：0
申请号：
CN202180027346.9
申请日：
2021-04-07
公开(公告)号：
CN115380359A
公开(公告)日：
2022-11-22
发明(设计)人：
V·菲鲁兹多尔
C·L·博德里
H-H·都
J·F·贝恩克
J·F·萨默斯
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
C23C1640
C23C16455
H01L2167
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
汪骏飞;侯颖媖
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20210407 |
| 2022-11-22 | 公开 | 公开 |
