反应腔的输气管道系统及其控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010594837.5

申请日：

2010-12-17

公开(公告)号：

CN102568991A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

聂佳相孔祥涛何伟业陈碧钦

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	公开	公开
2012-12-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010105948375 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121105 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101480949224
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324739360 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010105948375 申请日:20101217
2014-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

空压机的输气管道系统 [P].

林勤鑫 .

中国专利 :CN205977690U ,2017-02-22

[2]

CVD系统的输气管道 [P].

李东昊 ;

吴泰润 ;

林池泳 ;

张惠贞 ;

郑美善 ;

李昭渊 ;

崔键洙 ;

罗载文 ;

姜先美 ;

金明石 .

韩国专利 :CN220600800U ,2024-03-15

[3]

用于输气管道的报警装置和输气管道 [P].

杨飞涛 .

中国专利 :CN118705549A ,2024-09-27

[4]

输气管道流量监控系统 [P].

杨友涛 .

中国专利 :CN106956065A ,2017-07-18

[5]

输气管道泄漏监测系统 [P].

秦野 ;

乔世豪 .

中国专利 :CN202647194U ,2013-01-02

[6]

输气管道堵漏装置 [P].

贾陈 ;

郭红梅 ;

姜元山 ;

姜燕 ;

周松英 ;

王宽 ;

石慧利 ;

徐红芹 .

中国专利 :CN203162430U ,2013-08-28

[7]

用于输气管道的喷砂系统 [P].

熊小龙 .

中国专利 :CN211940496U ,2020-11-17

[8]

输气管道积液检测方法 [P].

孔凡群 ;

孙洪涛 ;

王召民 ;

刘德绪 ;

戴永寿 ;

曹学文 ;

梁法春 ;

龚金海 .

中国专利 :CN102607706A ,2012-07-25

[9]

输气管道的防雷装置 [P].

姚伟 ;

葛艾天 ;

韩宪荣 ;

李庆生 ;

董绍华 .

中国专利 :CN2893383Y ,2007-04-25

[10]

输气管道滑动支架 [P].

易丽玲 .

中国专利 :CN208237238U ,2018-12-14

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