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一种基于应变的光集成器件结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811562401.0
申请日：
2018-12-20
公开(公告)号：
CN111430398A
公开(公告)日：
2020-07-17
发明(设计)人：
尹晓雪
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区高新路86号领先时代广场（B座）第2幢1单元22层12202号房51号
IPC主分类号：
H01L2715
IPC分类号：
H01L2182
H01L2978
H01L310216
H01L310232
代理机构：
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人：
刘长春
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/15 申请日:20181220 |
| 2021-11-09 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 27/15 申请公布日:20200717 |
| 2020-07-17 | 公开 | 公开 |