脉冲分束激光激励半导体硅片微裂纹缺陷的透射光斑红外热成像检测装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910267683.X

申请日：

2019-04-03

公开(公告)号：

CN109856189A

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

唐庆菊高帅帅王云泽

申请人：

申请人地址：

150027 黑龙江省哈尔滨市松北区浦源路2468号

IPC主分类号：

G01N2572

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206

代理人：

高媛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	公开	公开
2019-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 25/72 申请日:20190403

共 50 条

[1]

半导体硅片表面/亚表面微裂纹损伤线性调频脉冲分束激光激励红外热波检测装置及方法 [P].

卜迟武 ;

唐庆菊 ;

张喜斌 ;

晏祖根 ;

陈江 .

中国专利 :CN109211976A ,2019-01-15

[2]

纤维金属层板缺陷线性调频脉冲相干激光激励红外热波相消干涉检测装置及方法 [P].

卜迟武 ;

唐庆菊 ;

张喜斌 ;

陈江 ;

于兴滨 .

中国专利 :CN109211975A ,2019-01-15

[3]

一种基于激光激励的红外热成像检测方法 [P].

洪颖 ;

张凯 ;

安伟 ;

陈飞 ;

江海军 ;

王金陵 ;

陈可 ;

陈建松 .

中国专利 :CN115575448A ,2023-01-06

[4]

基于红外热成像的产品缺陷检测装置及检测方法 [P].

赵健州 ;

明五一 ;

张国军 ;

张臻 ;

倪明堂 ;

卢亚 ;

张俊慧 ;

胡顺厂 .

中国专利 :CN119715677A ,2025-03-28

[5]

气瓶内胆微裂纹的超声红外热成像检测方法及系统 [P].

张辉 ;

沈鹏 ;

王胜 ;

倪中华 ;

殷国栋 .

中国专利 :CN113866219A ,2021-12-31

[6]

热障涂层厚度激光透射法激励红外热波检测装置及方法 [P].

李永君 ;

肖俊峰 ;

朱立春 ;

张炯 ;

高斯峰 ;

唐文书 ;

南晴 .

中国专利 :CN107289870B ,2017-10-24

[7]

基于红外热成像的管道缺陷检测数据收集装置及方法 [P].

冯宇霖 ;

刘金海 ;

卢森骧 ;

王柄洋 ;

张昊然 ;

王阔 ;

李拓儒 ;

陈麒如 .

中国专利 :CN112986330B ,2024-10-11

[8]

基于红外热成像的管道缺陷检测数据收集装置及方法 [P].

冯宇霖 ;

刘金海 ;

卢森骧 ;

王柄洋 ;

张昊然 ;

王阔 ;

李拓儒 ;

陈麒如 .

中国专利 :CN112986330A ,2021-06-18

[9]

基于透射式激光热成像的金属微裂纹深度检测系统及方法 [P].

张志杰 ;

刘佳琪 ;

尹武良 ;

董宁琛 .

中国专利 :CN111537564B ,2020-08-14

[10]

用于电子元器件缺陷的红外热成像检测装置及检测方法 [P].

靳飞 ;

张磊 ;

胡明 ;

陶斯禄 .

中国专利 :CN112907509A ,2021-06-04

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