低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010407037.1
申请日
2020-05-14
公开(公告)号
CN111594446A
公开(公告)日
2020-08-28
发明(设计)人
王晓伟 阚存东 李虎
申请人
申请人地址
201822 上海市嘉定区叶城路1288号6幢J1072室
IPC主分类号
F04C2824
IPC分类号
F04C2502
代理机构
北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙) 11392
代理人
张新利;谢建玲
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
低真空系统持续充入工作气体时的动态压力精确控制系统 [P]. 
王晓伟 ;
阚存东 ;
李虎 .
中国专利 :CN212454830U ,2021-02-02
[2]
真空压力控制系统 [P]. 
渡边雅之 ;
宫原诚 ;
梅泽俊祐 .
中国专利 :CN101320275A ,2008-12-10
[3]
真空压力控制系统 [P]. 
早濑雄太郎 .
日本专利 :CN113062989B ,2025-08-05
[4]
真空压力控制系统 [P]. 
早濑雄太郎 .
中国专利 :CN113062989A ,2021-07-02
[5]
反应腔室的压力控制系统及压力控制方法 [P]. 
孙朋涛 ;
耿丹 ;
桂晓波 ;
郑建宇 ;
李补忠 .
中国专利 :CN110538620B ,2019-12-06
[6]
低温低压气体压力精确控制系统及方法 [P]. 
武越 ;
王宇辰 ;
刘金龙 ;
李培印 ;
魏茜 ;
王晶 .
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[7]
真空压力控制系统 [P]. 
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[8]
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中国专利 :CN217109149U ,2022-08-02
[9]
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[10]
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贾文涛 ;
刘辉 .
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