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一种集成电路板生产用腐蚀装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020153488.2
申请日：
2020-02-05
公开(公告)号：
CN212163854U
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道艮塔西路109号
IPC主分类号：
H05K306
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-15 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05K 3/06 申请日:20200205 授权公告日:20201215 终止日期:20220205 |