对多晶硅生产中循环氢进行纯化的系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020217215.X

申请日：

2020-02-26

公开(公告)号：

CN212740736U

公开(公告)日：

2021-03-19

发明(设计)人：

吴锋赵培芝孙江桥徐玲锋

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号

IPC主分类号：

C01B358

IPC分类号：

C01B356

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

肖阳

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C01B 3/58 变更事项:专利权人变更前:江苏鑫华半导体材料科技有限公司变更后:江苏鑫华半导体科技股份有限公司变更事项:地址变更前:221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号变更后:221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号
2021-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

对多晶硅生产中循环氢进行纯化的方法及系统 [P].

吴锋 ;

赵培芝 ;

孙江桥 ;

徐玲锋 .

中国专利 :CN111268646A ,2020-06-12

[2]

一种多晶硅生产中尾气回收系统 [P].

宋垒 ;

涂大勇 ;

向春林 ;

晏涛 .

中国专利 :CN215822721U ,2022-02-15

[3]

多晶硅生产中的抽空系统 [P].

钟升勇 ;

洪浩 ;

阎冶智 ;

陈少华 .

中国专利 :CN201770488U ,2011-03-23

[4]

多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置 [P].

刘铭 ;

朱顺云 ;

侯哲辉 ;

张才利 ;

郭民 ;

危胜 ;

栗一甲 ;

杜斌功 ;

胡亚萍 .

中国专利 :CN208700568U ,2019-04-05

[5]

多晶硅生产中电解制氢工艺及其氧气回收系统 [P].

严大洲 ;

肖荣辉 ;

毋克力 ;

汤传斌 ;

骆志杰 ;

蒋呈奎 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN102296321B ,2011-12-28

[6]

多晶硅生产中尾气分离工艺 [P].

张伟 ;

陈喜清 ;

黄彬 ;

陈朝霞 .

中国专利 :CN103342341A ,2013-10-09

[7]

用于多晶硅生产中氢气再利用装置 [P].

郑珂 ;

陈霞 ;

陈虎 ;

娄彬 ;

施国林 ;

柳显宾 ;

王彤彤 .

中国专利 :CN202558651U ,2012-11-28

[8]

一种多晶硅生产中氢气处理系统 [P].

罗远见 ;

殷万朋 .

中国专利 :CN215974956U ,2022-03-08

[9]

多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置 [P].

杨晓凯 ;

叶杰 ;

王翔 ;

何向阳 .

中国专利 :CN202379747U ,2012-08-15

[10]

多晶硅生产中的三氯氢硅提纯系统及方法 [P].

苏国良 ;

孙宝昌 ;

达伟民 ;

徐春宇 ;

阿热帕提·阿扎提 ;

郑小龙 ;

吕学谦 ;

李一诺 ;

陈建峰 ;

初广文 .

中国专利 :CN119100401A ,2024-12-10

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