大面积MoSi超导微米线单光子探测器的激光直写制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110675450.0

申请日：

2021-06-17

公开(公告)号：

CN113555467A

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

贾小氢杨舒超鲍涵徐韬秦志涂学凑张蜡宝赵清源康琳陈健吴培亨

申请人：

申请人地址：

210093 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L31032 H01L310352 H01L3924 H01L3912

代理机构：

南京理工大学专利中心 32203

代理人：

封睿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	公开	公开
2021-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20210617

共 50 条

[1]

高速超导微米线单光子探测器及其制备方法 [P].

张伟君 ;

徐光照 ;

尤立星 ;

李浩 ;

谢晓明 .

中国专利 :CN111707362A ,2020-09-25

[2]

大面积红外单光子探测器 [P].

钱森 ;

王志刚 .

中国专利 :CN113990733A ,2022-01-28

[3]

一种大面积、低成本的超导纳米线单光子探测器的制备方法 [P].

罗先刚 ;

蒲明博 ;

马晓亮 ;

罗云飞 ;

王长涛 .

中国专利 :CN109668631A ,2019-04-23

[4]

飞秒激光直写波导耦合超导纳米线单光子探测器 [P].

尤立星 ;

金贤敏 ;

侯昕彤 ;

徐晓芸 ;

李浩 ;

黄选纶 ;

张伟君 ;

王镇 .

中国专利 :CN110635021A ,2019-12-31

[5]

一种超导微米线单光子探测器件及其制备方法 [P].

张伟君 ;

王钰泽 ;

熊佳敏 ;

黄佳 ;

尤立星 .

中国专利 :CN119451552A ,2025-02-14

[6]

一种超导微米线单光子探测器件及其制备方法 [P].

张伟君 ;

王钰泽 ;

熊佳敏 ;

黄佳 ;

尤立星 .

中国专利 :CN119451552B ,2025-09-09

[7]

超导纳米线单光子探测器的制备方法 [P].

赵璐 ;

金贻荣 ;

邓辉 ;

郑东宁 .

中国专利 :CN103779443A ,2014-05-07

[8]

超导纳米线单光子探测器 [P].

李浩 ;

尤立星 ;

王镇 .

中国专利 :CN107507911A ,2017-12-22

[9]

超导纳米线单光子探测器及其制备方法 [P].

李浩 ;

张文英 ;

尤立星 ;

王镇 ;

谢晓明 .

中国专利 :CN112050935B ,2020-12-08

[10]

超导纳米线单光子探测器及其制备方法 [P].

康琳 ;

赵丽敏 ;

顾鹏 ;

吴培亨 .

中国专利 :CN104752534A ,2015-07-01

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