在球面衬底上制造金刚石涂层的装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN200520076377.1
申请日
2005-10-14
公开(公告)号
CN2846442Y
公开(公告)日
2006-12-13
发明(设计)人
卢文壮 左敦稳 徐锋 黎向锋 王珉
申请人
申请人地址
210016江苏省南京市御道街29号
IPC主分类号
C23C1627
IPC分类号
C23C1644
代理机构
南京天华专利代理有限责任公司
代理人
瞿网兰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置 [P]. 
卢文壮 ;
左敦稳 ;
徐锋 ;
黎向锋 ;
王珉 .
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[2]
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[3]
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[4]
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[6]
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[8]
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[9]
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