集成电路金属互连线结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420413106.X

申请日：

2014-07-24

公开(公告)号：

CN203983266U

公开(公告)日：

2014-12-03

发明(设计)人：

甘正浩

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L23528

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/528 申请日:20140724 授权公告日:20141203 终止日期:20190724
2014-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

集成电路金属互连结构以及集成电路 [P].

杨军 .

中国专利 :CN208835054U ,2019-05-07

[2]

集成电路金属互连结构、制造方法以及集成电路 [P].

杨军 .

中国专利 :CN110890348A ,2020-03-17

[3]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956544A ,2013-03-06

[4]

金属互连线的制造方法 [P].

王新鹏 ;

黄晓辉 .

中国专利 :CN102956545B ,2013-03-06

[5]

集成电路互连线激光抛光工艺 [P].

刘锋 ;

程佳瑞 ;

王耀宇 ;

箭旗琳 ;

刘胜 ;

张臣 .

中国专利 :CN111299838A ,2020-06-19

[6]

集成电路的内连线结构 [P].

黄瑞仁 ;

蔡明兴 ;

眭晓林 ;

苏鸿文 ;

柯亭竹 .

中国专利 :CN1783476A ,2006-06-07

[7]

集成电路金属连线的制备方法 [P].

陈定平 ;

杜卫星 .

中国专利 :CN107346732A ,2017-11-14

[8]

一种集成电路金属互连结构 [P].

胡绍朋 .

中国专利 :CN212991091U ,2021-04-16

[9]

一种集成电路金属互连结构 [P].

赵晓帆 ;

欧雪霞 .

中国专利 :CN210113651U ,2020-02-25

[10]

互连线结构及互连线结构的形成方法 [P].

李乐 .

中国专利 :CN103077921A ,2013-05-01

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