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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-25 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/02 登记生效日:20210712 变更事项:申请人 变更前权利人:广东先导先进材料股份有限公司 变更后权利人:安徽中飞科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 变更后权利人:239000 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号 |
| 2022-12-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/02 申请日:20201230 |