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一种真空镀膜用基片载架夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022556962.9
申请日：
2020-11-08
公开(公告)号：
CN213507181U
公开(公告)日：
2021-06-22
发明(设计)人：
李健
孙宏宇
邓天容
申请人：
申请人地址：
341800 江西省赣州市全南县工业园二区
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-22 | 授权 | 授权 |