用于分子污染物及颗粒缓解的真空致动器容器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080056686.X

申请日：

2020-08-11

公开(公告)号：

CN114222950B

公开(公告)日：

2022-03-22

发明(设计)人：

Z·马克斯 G·R·德尔加多 R·加西亚 J·沃尔什 M·霍夫曼

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F184

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

刘丽楠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	公开	公开
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

对真空环境中的分子污染物的分析 [P].

R.J.T.索尔斯 ;

H.H.克诺贝 ;

P.K.德博克斯 .

中国专利 :CN103167901A ,2013-06-19

[2]

用于致动流体连接器污染物罩盖的设备 [P].

C·A·M·范霍夫特 ;

D·J·卢扬戴克 ;

H·容格柏勒德 .

中国专利 :CN103797191A ,2014-05-14

[3]

用于气雾剂容器的致动器 [P].

R.钱伯斯 ;

A.菲尔丁 ;

A.W.皮科克 ;

G.P.兰达尔 ;

J.E.罗 ;

J.P.罗布克 ;

K.J.斯坦普 .

中国专利 :CN102971231B ,2013-03-13

[4]

用于去除污染物的材料、用于去除污染物的过滤器和用于去除污染物的装置 [P].

池相旼 ;

李弦哲 ;

权赫载 ;

梁东植 .

中国专利 :CN113274871A ,2021-08-20

[5]

真空阀及使用于真空阀的致动器 [P].

菲尔斯·埃马纽埃尔 .

中国专利 :CN114072603A ,2022-02-18

[6]

真空阀及使用于真空阀的致动器 [P].

菲尔斯·埃马纽埃尔 .

日本专利 :CN114072603B ,2024-10-29

[7]

用于去除颗粒污染物或气体污染物的可交换吸附脱附装置 [P].

洪银杓 .

中国专利 :CN107913551A ,2018-04-17

[8]

致动器及包含致动器的芯片 [P].

许郁文 .

中国专利 :CN112777562A ,2021-05-11

[9]

清除颗粒污染物的方法 [P].

马克·卡瓦古奇 ;

大卫·穆伊 ;

马克·威尔考克森 .

中国专利 :CN102458697B ,2012-05-16

[10]

移除颗粒污染物的方法 [P].

伊扎克·萨巴 ;

尹秀敏 ;

马克·卡瓦古奇 ;

马克·威尔考克森 ;

德拉甘·波德莱斯尼克 .

中国专利 :CN102349135A ,2012-02-08

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