硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121451726.9
申请日
2021-06-28
公开(公告)号
CN215731618U
公开(公告)日
2022-02-01
发明(设计)人
马菲 陈日强 韩士岭 李钊
申请人
申请人地址
610400 四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段888号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
H01L21677 H01L2167 H01L3118
代理机构
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人
唐菲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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