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硅片清洗花篮
被引：0
申请号：
CN202222273776.3
申请日：
2022-08-29
公开(公告)号：
CN218160313U
公开(公告)日：
2022-12-27
发明(设计)人：
宋文
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区梅村张公路29号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
无锡科嘉知信专利代理事务所(普通合伙) 32515
代理人：
陈颖
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-27 | 授权 | 授权 |