共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-02-16 | 授权 | 授权 |
| 2014-04-30 | 公开 | 公开 |
| 2018-09-11 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/075 变更事项:专利权人 变更前:旭硝子株式会社 变更后:AGC株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 2014-06-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582557650 IPC(主分类):G03F 7/075 专利申请号:2012800426249 申请日:20120827 |