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全自动硅片清洗线
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720222718.4
申请日：
2017-03-08
公开(公告)号：
CN206505942U
公开(公告)日：
2017-09-19
发明(设计)人：
李继忠
李述周
申请人：
申请人地址：
213025 江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号
IPC主分类号：
H01L3118
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
常州市科谊专利代理事务所 32225
代理人：
孙彬
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-09 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人 变更前:常州市科沛达超声工程设备有限公司 变更后:常州科沛达清洗技术股份有限公司 变更事项:地址 变更前:213025 江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号 变更后:213000 江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号 |
| 2017-09-19 | 授权 | 授权 |