共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180131 |
| 2021-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20210918 变更事项:专利权人 变更前权利人:株式会社V技术 变更后权利人:凤凰电机株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本神奈川 变更后权利人:日本兵库县 |