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一种液态磷注入法合成磷化铟的系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202020974671.9
申请日
:
2020-06-02
公开(公告)号
:
CN212895088U
公开(公告)日
:
2021-04-06
发明(设计)人
:
付莉杰
孙聂枫
王书杰
李晓岚
张鑫
张晓丹
史艳磊
邵会民
王阳
申请人
:
申请人地址
:
050000 河北省石家庄市新华区合作路113号
IPC主分类号
:
C30B2940
IPC分类号
:
C30B1502
代理机构
:
石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123
代理人
:
王苑祥
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-04-06
授权
授权
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[1]
一种液态磷注入法合成磷化铟的方法
[P].
付莉杰
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付莉杰
;
孙聂枫
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卜爱民
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卜爱民
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王书杰
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王书杰
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李晓岚
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李晓岚
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张鑫
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张鑫
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张晓丹
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张晓丹
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史艳磊
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史艳磊
;
邵会民
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邵会民
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王阳
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王阳
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欧欣
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欧欣
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宋瑞良
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宋瑞良
.
中国专利
:CN111424310B
,2020-07-17
[2]
一种利用液态磷与铟合成磷化铟的方法以及装置
[P].
王书杰
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
王书杰
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孙聂枫
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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孙聂枫
;
顾占彪
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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顾占彪
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邵会民
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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邵会民
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姜剑
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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姜剑
;
康永
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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康永
;
谷伟侠
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
谷伟侠
.
中国专利
:CN120006394A
,2025-05-16
[3]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
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王书杰
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王书杰
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史艳磊
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史艳磊
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邵会民
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邵会民
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付莉杰
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李晓岚
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李晓岚
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王阳
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王阳
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徐森锋
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徐森锋
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刘惠生
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刘惠生
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孙同年
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孙同年
.
中国专利
:CN110760931A
,2020-02-07
[4]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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孙聂枫
;
卜爱民
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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卜爱民
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王书杰
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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王书杰
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史艳磊
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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宋瑞良
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孙同年
.
中国专利
:CN110760931B
,2024-03-19
[5]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
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王书杰
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刘惠生
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刘惠生
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孙同年
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孙同年
.
中国专利
:CN211112317U
,2020-07-28
[6]
一种磷化铟多晶合成的方法
[P].
林朋
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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林朋
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杨鹏
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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杨鹏
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付莉杰
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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付莉杰
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孙聂枫
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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孙聂枫
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史艳磊
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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史艳磊
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王书杰
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中国电子科技集团公司第十三研究所
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王书杰
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秦敬凯
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
秦敬凯
.
中国专利
:CN115896946B
,2025-08-29
[7]
磷化铟多晶材料的快速合成方法及其多管石英磷泡
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
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孙同年
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孙同年
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杨瑞霞
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杨帆
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杨帆
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李晓岚
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李晓岚
.
中国专利
:CN102965734A
,2013-03-13
[8]
一种磷化铟多晶的制备方法和磷化铟多晶合成反应器
[P].
王金灵
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王金灵
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陈伟杰
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
陈伟杰
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齐正阳
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广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
齐正阳
.
中国专利
:CN118814265A
,2024-10-22
[9]
多管快速合成磷化铟多晶磷泡装置
[P].
骆新江
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骆新江
.
中国专利
:CN203112962U
,2013-08-07
[10]
一种磷化铟研磨装置与磷化铟
[P].
郭锐
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机构:
中讯半导体(江苏)有限公司
中讯半导体(江苏)有限公司
郭锐
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范博
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范博
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,2025-12-12
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