一种洁净室测点装置及洁净室的测点方法

被引:0
申请号
CN202110066074.5
申请日
2021-01-18
公开(公告)号
CN114812529A
公开(公告)日
2022-07-29
发明(设计)人
邹志军 赵振阳 徐志伟
申请人
申请人地址
200093 上海市杨浦区军工路516号
IPC主分类号
G01C1502
IPC分类号
代理机构
上海德昭知识产权代理有限公司 31204
代理人
赵濬宇
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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