垂向测量系统、垂向测量方法及曝光机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211529202.6

申请日：

2022-11-30

公开(公告)号：

CN118112893A

公开(公告)日：

2024-05-31

发明(设计)人：

侯先飞张民山李煜芝

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F9/00 G02B27/28 G01B11/00

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

张子飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20221130
2024-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

垂向测量装置、垂向测量方法及光刻机 [P].

蓝科 ;

陈彩莲 ;

王易因 ;

刘逍 ;

赖勇 ;

李煜芝 ;

程建瑞 .

中国专利 :CN117192917B ,2024-12-31

[2]

垂向测量系统及曝光装置 [P].

程于水 ;

毛静超 ;

孙建超 .

中国专利 :CN113433800B ,2021-09-24

[3]

掩模台垂向测量工装及掩模台垂向测量方法 [P].

孟昆鹏 ;

薛雷 ;

程凯 ;

李高波 .

中国专利 :CN114252042A ,2022-03-29

[4]

垂向多层海流测量方法 [P].

郭磊 ;

闫祥磊 ;

刘浩然 ;

杨秀卿 ;

宋学宁 ;

孙治雷 ;

薛钢 ;

刘延俊 .

中国专利 :CN118816822B ,2025-02-18

[5]

垂向多层海流测量方法 [P].

郭磊 ;

闫祥磊 ;

刘浩然 ;

杨秀卿 ;

宋学宁 ;

孙治雷 ;

薛钢 ;

刘延俊 .

中国专利 :CN118816822A ,2024-10-22

[6]

城轨车辆垂向尺寸测量装置及测量方法 [P].

韩朝 ;

李忠山 ;

刘丙林 ;

王继强 ;

陶志钢 ;

王建飞 ;

杨学渊 ;

尹星 ;

李士亮 ;

贾增海 ;

任万真 .

中国专利 :CN111076669A ,2020-04-28

[7]

城轨车辆垂向尺寸测量装置及测量方法 [P].

韩朝 ;

李忠山 ;

刘丙林 ;

王继强 ;

陶志钢 ;

王建飞 ;

杨学渊 ;

尹星 ;

李士亮 ;

贾增海 ;

任万真 .

中国专利 :CN111076669B ,2024-10-25

[8]

工件台垂向位置测量系统 [P].

林彬 .

中国专利 :CN102445854A ,2012-05-09

[9]

一种轮胎垂向力测量装置及测量方法 [P].

秦泽昭 ;

杜盟 ;

吴军达 ;

张通 ;

杨小牛 .

中国专利 :CN117740226A ,2024-03-22

[10]

深水水库垂向水温分布的测量方法 [P].

蒋定国 ;

戴会超 ;

刘伟 .

中国专利 :CN103162869B ,2013-06-19

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