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产业用机器人
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311554574.9
申请日：
2023-11-21
公开(公告)号：
CN118099073A
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
青木雅裕
栗林保
北原康行
细川正己
申请人：
尼得科仪器株式会社
申请人地址：
日本长野县诹访郡下诹访町5329番地(邮递区号:393-8511)
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
张娜;黄健
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2024-06-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20231121 |