磁悬浮分子泵位移传感器检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322324186.3

申请日：

2023-08-28

公开(公告)号：

CN220568094U

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

郁晋军胡钱旺刘静静杨铭

申请人：

合肥昱驰真空技术有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区合肥市高新区长宁大道与长安路交口西南角集成电路标准化厂房A-1#厂房3层302

IPC主分类号：

G01B21/02

IPC分类号：

代理机构：

重庆宏知亿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 50260

代理人：

庄丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装 [P].

陈林 ;

刘强 ;

张亮 ;

任世瑜 .

中国专利 :CN212512960U ,2021-02-09

[2]

一种磁悬浮分子泵位移传感器的检测工装 [P].

陈林 ;

刘强 ;

张亮 ;

任世瑜 .

中国专利 :CN111912367A ,2020-11-10

[3]

径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统 [P].

张剀 ;

武涵 ;

李奇志 ;

张小章 ;

邹蒙 .

中国专利 :CN102435131B ,2012-05-02

[4]

磁悬浮分子泵 [P].

张宗杰 ;

王玉坤 ;

郭景 ;

庞古才 ;

陈颖秀 .

中国专利 :CN223662136U ,2025-12-12

[5]

一种位移传感器固定装置、磁轴承定子以及磁悬浮分子泵 [P].

刘强 ;

张亮 ;

陈林 .

中国专利 :CN222596335U ,2025-03-11

[6]

磁悬浮触针位移传感器 [P].

常素萍 ;

吴昊 ;

胡春冰 ;

周建飞 ;

张中宇 ;

赵言情 .

中国专利 :CN207487544U ,2018-06-12

[7]

位移传感器探头、位移传感器检测电路及磁悬浮系统 [P].

刘德刚 ;

尹成科 .

中国专利 :CN117128842B ,2024-03-19

[8]

磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法 [P].

张峥 ;

张亚新 ;

白生伟 ;

韩超 .

中国专利 :CN120869035B ,2025-12-05

[9]

磁悬浮分子泵径向传感器同心度检测工装及方法 [P].

张峥 ;

张亚新 ;

白生伟 ;

韩超 .

中国专利 :CN120869035A ,2025-10-31

[10]

磁悬浮分子泵 [P].

李永胜 ;

张婕妤 ;

孙洪洋 ;

李致宇 ;

刘璐 ;

郑伟 .

中国专利 :CN217926359U ,2022-11-29

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