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信息处理方法、信息处理装置、以及基板处理系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280058364.8
申请日：
2022-08-12
公开(公告)号：
CN117882170A
公开(公告)日：
2024-04-12
发明(设计)人：
齐藤友贵哉 片冈勇树
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
G05B23/02
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
金雪梅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-12 公开 公开
2024-06-21 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20220812
共 50 条
[1]
信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法 [P]. 
舞鴫惠治 ;
杉浦哲郎 ;
臼井克明 ;
畠山雅规 ;
本间知佳子 ;
大须贺透 ;
岩崎弘一 ;
林介元 .
中国专利 :CN114151343A ,2022-03-08
[2]
信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法 [P]. 
舞鴫惠治 ;
杉浦哲郎 ;
臼井克明 ;
畠山雅规 ;
本间知佳子 ;
大须贺透 ;
岩崎弘一 ;
林介元 .
日本专利 :CN114151343B ,2024-10-11
[3]
信息处理装置、信息处理方法以及信息处理系统 [P]. 
田中由里香 .
日本专利 :CN113048994B ,2024-07-23
[4]
信息处理装置、信息处理方法以及信息处理系统 [P]. 
原昌宏 ;
龟冈慎平 .
日本专利 :CN112136102B ,2024-04-02
[5]
信息处理装置、信息处理系统以及信息处理方法 [P]. 
柏仓俊树 ;
杉山侑纪也 ;
浅井和 ;
长谷川英男 .
中国专利 :CN114519545A ,2022-05-20
[6]
信息处理装置、信息处理系统、以及信息处理方法 [P]. 
柏仓俊树 ;
杉山侑纪也 ;
浅井和 ;
长谷川英男 .
中国专利 :CN114529358A ,2022-05-24
[7]
信息处理装置、信息处理方法以及信息处理系统 [P]. 
田中由里香 .
中国专利 :CN113048994A ,2021-06-29
[8]
信息处理装置、信息处理系统以及信息处理方法 [P]. 
角谷祐辉 ;
粕渊清孝 ;
吉田明子 ;
寺田万理 ;
梅原光规 .
中国专利 :CN114239842A ,2022-03-25
[9]
信息处理装置、信息处理系统以及信息处理方法 [P]. 
松原智也 ;
嶋田伊吹 ;
庄司圭佑 ;
山本修平 ;
长谷川英男 ;
田中由里香 ;
驹嶺聪史 .
中国专利 :CN114119294A ,2022-03-01
[10]
信息处理装置、信息处理系统以及信息处理方法 [P]. 
柏仓俊树 ;
杉山侑纪也 ;
浅井和 ;
长谷川英男 .
日本专利 :CN114519545B ,2025-05-13
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