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搬运车系统控制方法和搬运车系统控制设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311501249.6
申请日：
2023-11-13
公开(公告)号：
CN118116849A
公开(公告)日：
2024-05-31
发明(设计)人：
尹基燮
金石熙
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人：
李英艳;冯志云
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231113 |
| 2024-05-31 | 公开 | 公开 |