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研磨用组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280068329.4
申请日：
2022-09-20
公开(公告)号：
CN118103955A
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
后藤修
高间大辉
田中优己
申请人：
福吉米株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李恩华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/304申请日:20220920 |
| 2024-05-28 | 公开 | 公开 |