高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111160175.5

申请日：

2021-09-30

公开(公告)号：

CN113981386B

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

王兴权曹晓萌丁照崇李勇军贾倩李利利何金江张晓娜杜文路肖彤

申请人：

有研亿金新材料有限公司

申请人地址：

102200 北京市昌平区超前路33号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C22C1/04 C22C21/00

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

陈波

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

高钪含量铝钪合金靶材及其制造方法 [P].

王兴权 ;

曹晓萌 ;

丁照崇 ;

李勇军 ;

贾倩 ;

李利利 ;

何金江 ;

张晓娜 ;

杜文路 ;

肖彤 .

中国专利 :CN113981386A ,2022-01-28

[2]

高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法 [P].

刘华 ;

黄美松 ;

樊玉川 ;

王志坚 ;

贾帅广 ;

傅臻 ;

姚茂海 ;

杨露辉 .

中国专利 :CN111455327B ,2020-07-28

[3]

高钪铝钪合金靶及其靶材绑定方法 [P].

陈力学 .

中国专利 :CN112063977A ,2020-12-11

[4]

铝钪合金靶材及其制备方法 [P].

黄培 ;

黄美松 ;

王志坚 ;

刘华 ;

邓月华 ;

马小波 ;

文康 ;

刘维 .

中国专利 :CN111455223A ,2020-07-28

[5]

一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法 [P].

王晨 ;

罗思林 ;

张永健 ;

闫建平 ;

杨淏仁 ;

郑若婕 .

中国专利 :CN118682262A ,2024-09-24

[6]

一种高钪铝钪合金靶材及其制备方法 [P].

葛春桥 ;

陈露 ;

李强 ;

钟威平 .

中国专利 :CN118109707A ,2024-05-31

[7]

一种高钪含量铝钪合金及其制备方法 [P].

柳旭 ;

张国清 ;

蔡正旭 ;

李刚 ;

宋文杰 ;

焦磊 .

中国专利 :CN106086567A ,2016-11-09

[8]

制备高钪含量铝钪合金的方法 [P].

张闻扬 ;

文康 ;

黄美松 ;

樊玉川 ;

黄培 ;

李剑 ;

刘维 .

中国专利 :CN112063866A ,2020-12-11

[9]

一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法 [P].

何午琳 .

中国专利 :CN110438458A ,2019-11-12

[10]

铝钪合金靶材制备方法 [P].

余鹏 ;

宋觉敏 .

中国专利 :CN108441827A ,2018-08-24

← 1 2 3 4 5 →