一种高纯乙硅烷制备系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311659054.4

申请日：

2023-12-06

公开(公告)号：

CN117563260A

公开(公告)日：

2024-02-20

发明(设计)人：

许进荣杨利霞

申请人：

滁州昶旭电子材料有限公司

申请人地址：

239500 安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园远大路09号

IPC主分类号：

B01D3/14

IPC分类号：

B01D3/32 B01J19/00 C01B33/04

代理机构：

滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167

代理人：

陈博

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省滁州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 3/14申请日:20231206
2024-06-04	授权	授权
2024-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高纯乙硅烷制备系统 [P].

许进荣 ;

杨利霞 .

中国专利 :CN117563260B ,2024-06-04

[2]

一种高纯乙硅烷和丙硅烷的制备系统 [P].

郑彰 .

:CN221132192U ,2024-06-14

[3]

高纯乙硅烷制备用精馏装置 [P].

郑春宁 ;

王伟 ;

俞冬雷 .

中国专利 :CN213433043U ,2021-06-15

[4]

一种高纯乙硅烷连续生产系统及制备工艺 [P].

赵毅 ;

赵趫 ;

王天源 ;

计燕秋 ;

刘颖 .

中国专利 :CN112678829A ,2021-04-20

[5]

一种生产高纯乙硅烷的系统及其方法 [P].

余京松 ;

杨智敏 ;

程战锋 ;

朱鲁明 ;

沃银花 .

中国专利 :CN102502653A ,2012-06-20

[6]

一种乙硅烷合成系统 [P].

曹宏成 ;

陶刚义 ;

杨林涛 ;

周新军 ;

杜晓辉 ;

黄初 ;

吕阳 ;

刘月颖 ;

侯龙 ;

王小雨 ;

张鑫 ;

刘杰 .

中国专利 :CN221156582U ,2024-06-18

[7]

高纯乙硅烷尾气处理装置 [P].

徐昕 ;

俞冬雷 ;

王伟 .

中国专利 :CN213528099U ,2021-06-25

[8]

高纯乙硅烷纯化过滤装置 [P].

郑春宁 ;

王伟 ;

俞冬雷 .

中国专利 :CN213528025U ,2021-06-25

[9]

高纯乙硅烷存储取样装置 [P].

徐昕 ;

俞冬雷 ;

王伟 .

中国专利 :CN213397834U ,2021-06-08

[10]

一种高纯六氯乙硅烷的提纯装置 [P].

刘璧 ;

鲍坚仁 ;

徐学强 .

中国专利 :CN223336813U ,2025-09-16

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