一种进气装置及半导体处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311598862.4

申请日：

2023-11-27

公开(公告)号：

CN117448954A

公开(公告)日：

2024-01-26

发明(设计)人：

兰立广

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

C30B29/06 H01L21/67 H01L21/02

代理机构：

深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651

代理人：

范伟民

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-26	公开	公开
2024-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/14申请日:20231127

共 50 条

[1]

一种进气装置及半导体工艺处理设备 [P].

李福华 ;

董博宇 ;

袁福顺 ;

杨牧龙 ;

王磊磊 ;

顾世海 ;

曲洋 ;

李轩 ;

赵东华 ;

孙中岳 .

中国专利 :CN117845192A ,2024-04-09

[2]

一种匀气结构、进气装置及半导体处理设备 [P].

陈二庆 ;

李轩 .

中国专利 :CN221407243U ,2024-07-23

[3]

进气装置及半导体处理设备 [P].

李一吾 .

中国专利 :CN110760924B ,2020-02-07

[4]

进气装置及半导体处理设备 [P].

王兆祥 ;

邱勇 ;

梁洁 ;

张朋兵 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN118086875A ,2024-05-28

[5]

进气装置及半导体处理设备 [P].

王兆祥 ;

邱勇 ;

梁洁 ;

张朋兵 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN118086875B ,2024-08-13

[6]

一种进气装置及应用该进气装置的半导体处理设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN101623680A ,2010-01-13

[7]

进气可调装置及半导体处理设备 [P].

王兆祥 ;

邱勇 ;

梁洁 ;

张朋兵 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN118086877A ,2024-05-28

[8]

进气可调装置及半导体处理设备 [P].

王兆祥 ;

邱勇 ;

梁洁 ;

张朋兵 ;

涂乐义 .

中国专利 :CN118086877B ,2024-08-20

[9]

进气装置及半导体设备 [P].

赵万辉 .

中国专利 :CN211897166U ,2020-11-10

[10]

进气装置及半导体设备 [P].

任晓滨 .

中国专利 :CN117823681A ,2024-04-05

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