一种周期脉冲高能离子注入机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311591526.7

申请日：

2023-11-27

公开(公告)号：

CN117393409A

公开(公告)日：

2024-01-12

发明(设计)人：

聂翔陈祥龙张浩王书松

申请人：

青岛四方思锐智能技术有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区北京路45号东办公楼二楼205-5-7室（A）

IPC主分类号：

H01J37/317

IPC分类号：

H01J37/30 H01J37/10 H01L21/67

代理机构：

北京北汇律师事务所 11711

代理人：

周志忠

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-05	授权	授权
2025-03-21	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01J 37/317变更事项:专利权人变更前:青岛四方思锐智能技术有限公司变更后:青岛思锐智能科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区前湾保税港区北京路45号东办公楼二楼205-5-7室（A）变更后:266000 山东省青岛市中国（山东）自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号3#楼
2024-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/317申请日:20231127
2024-01-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种周期脉冲高能离子注入机 [P].

聂翔 ;

陈祥龙 ;

张浩 ;

王书松 .

中国专利 :CN117393409B ,2024-04-05

[2]

一种高能金属离子注入机 [P].

王桂才 ;

郝晓波 ;

屈冰冰 ;

邱云涛 ;

李健 ;

张世超 ;

侯艳荣 ;

王大友 ;

闫果 .

中国专利 :CN119194389A ,2024-12-27

[3]

一种射频引出氢氦高能离子注入机 [P].

聂翔 ;

陈祥龙 ;

刘强 ;

宋韵洋 .

中国专利 :CN117293006B ,2024-04-05

[4]

一种带斩波功能的脉冲高能离子注入机 [P].

李士会 ;

贾永智 ;

张兆龙 ;

朱婉莹 ;

尹聪 ;

朱剑峰 ;

安子博 .

中国专利 :CN119890020A ,2025-04-25

[5]

一种高能离子注入机射频加速装置 [P].

刘辉 ;

谢明华 ;

刘蒙瑞 ;

张琪 ;

叶磊 .

中国专利 :CN207883653U ,2018-09-18

[6]

一种SIC高温高能离子注入机高能测量装置 [P].

金则军 ;

孙雪平 ;

袁卫华 ;

彭立波 .

中国专利 :CN106098522A ,2016-11-09

[7]

一种用于高能离子注入机的离子源 [P].

唐兵 ;

崔保群 ;

文俊燃 ;

陈立华 ;

马燮 ;

马瑞刚 ;

马鹰俊 ;

张一帆 ;

王云峰 ;

陈浩南 .

中国专利 :CN120998761A ,2025-11-21

[8]

一种高能离子注入机射频谐振器 [P].

张兆龙 ;

朱婉莹 ;

贾永智 ;

高婷婷 ;

孙冲 ;

袁印 ;

王郑标 ;

李进 .

中国专利 :CN119651111A ,2025-03-18

[9]

一种晶圆高能离子注入机金属污染改善方法 [P].

时锋 ;

赖朝荣 ;

王智 ;

苏俊铭 .

中国专利 :CN106373846B ,2017-02-01

[10]

一种离子注入机 [P].

丁桃宝 .

中国专利 :CN109243954A ,2019-01-18

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