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一种基于碳化硅载流子的光调制器制备方法及光调制器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310736866.8
申请日：
2023-06-20
公开(公告)号：
CN116819805B
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
伊艾伦 欧欣 蔡佳辰 王成立
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址：
200050 上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号：
G02F1/015
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
郑华洁
法律状态：
授权
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-28 授权 授权
共 50 条
[1]
一种基于碳化硅的调制器件制备方法及调制器件 [P]. 
伊艾伦 ;
欧欣 ;
蔡佳辰 ;
王成立 .
中国专利 :CN116837463B ,2024-06-28
[2]
光调制器及制造光调制器和控制光调制器的方法 [P]. 
杰弗里·布莱恩·桑普塞尔 ;
克拉伦斯·徐 ;
马尼什·科塔里 .
中国专利 :CN1890705B ,2007-01-03
[3]
光调制器及光调制器的制造方法 [P]. 
村田昭浩 .
中国专利 :CN100380166C ,2005-09-14
[4]
光相位调制器和光调制器 [P]. 
施炜 ;
索菲·拉罗谢尔 ;
奥米德·贾法里 .
加拿大专利 :CN112262342B ,2024-11-12
[5]
光相位调制器和光调制器 [P]. 
施炜 ;
索菲·拉罗谢尔 ;
奥米德·贾法里 .
中国专利 :CN112262342A ,2021-01-22
[6]
光调制器的制造方法以及光调制器 [P]. 
柴田公隆 .
中国专利 :CN103682978A ,2014-03-26
[7]
光调制器以及光调制器的制造方法 [P]. 
森大树 ;
河野直哉 ;
江川满 .
中国专利 :CN115469470A ,2022-12-13
[8]
光调制器和制造光调制器的方法 [P]. 
A·斯科菲尔德 .
中国专利 :CN114730104A ,2022-07-08
[9]
光调制器以及光调制器的控制方法 [P]. 
林周作 ;
榎健太郎 ;
秋山浩一 .
中国专利 :CN109716679A ,2019-05-03
[10]
光调制器以及光调制器的制造方法 [P]. 
田中肇 .
日本专利 :CN119148411A ,2024-12-17
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