模块化晶片台以及制造模块化晶片台的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280035403.2

申请日：

2022-04-28

公开(公告)号：

CN117337412A

公开(公告)日：

2024-01-02

发明(设计)人：

沙哈布·谢尔文塔莫·伊特尔迪克 M·利普森 M·M·P·A·沃姆伦

申请人：

ASML控股股份有限公司 ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

毕杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-02	公开	公开
2024-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220428

共 50 条

[1]

模块化的螺栓以及用于制造模块化的螺栓的方法 [P].

斯文·贝克尔 ;

布鲁诺·达罗查 ;

安德烈亚斯·雅各布 ;

斯蒂芬·赫伯特 ;

纳尔逊·桑托斯 .

中国专利 :CN114922893A ,2022-08-19

[2]

制造模块化能量吸收组件的方法 [P].

P·P·卡罗尔三世 ;

J·M·科尔米尔 .

中国专利 :CN1443108A ,2003-09-17

[3]

模块化皮带的制造 [P].

尼古拉斯·彼得·奥肯·米龙 ;

艾伦·阿克利 .

中国专利 :CN105828601B ,2016-08-03

[4]

制造模块化可配置的同轴插头的方法 [P].

O.德克洛特 ;

S.阿宝尔卡塞姆 .

中国专利 :CN110086065A ,2019-08-02

[5]

用于制造模块化互锁制品的成型系统和方法 [P].

B·E·亨德里克森 ;

T·卡尔森 ;

C·塞文河 ;

M·冯检基 ;

O·布兰道 .

中国专利 :CN105228810A ,2016-01-06

[6]

用于预制造模块化住房的装置、系统和方法 [P].

黄良兴 ;

戴宝碹 ;

黄瑞强 ;

廖湧源 ;

杜武天 .

中国专利 :CN108222356A ,2018-06-29

[7]

模块化电源组件 [P].

W·J·韦伯 ;

P·贝尔托拉斯 ;

H·B·尼尔森 ;

J·A·波姆斯 ;

D·沃尔拉思 .

中国专利 :CN1815864A ,2006-08-09

[8]

制造模块化的风力涡轮机转子叶片的方法 [P].

L·马西斯 .

:CN119789946A ,2025-04-08

[9]

模块化治疗计划系统 [P].

陈江 .

中国专利 :CN221281762U ,2024-07-05

[10]

模块化制冷系统 [P].

高健 ;

柴国红 .

中国专利 :CN204630126U ,2015-09-09

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