温度测量设备、光刻装置和用于测量温度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280053901.X

申请日：

2022-08-05

公开(公告)号：

CN117795425A

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

L·伯格 T·雷滕迈尔

申请人：

卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G01K7/21 G01K7/25

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王蕊瑞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220805
2024-03-29	公开	公开

共 50 条

[1]

温度测量装置和测量温度的方法 [P].

V·卡索夫斯基 ;

S·I·斯拉维科夫 ;

A·I·加加维洛夫 ;

L·拜登斯 .

中国专利 :CN112013968A ,2020-12-01

[2]

温度测量设备、具有其的电装置以及用于测量温度的方法 [P].

H·弗卢雷尔 ;

G·克纳佩 ;

E·拜尔 .

中国专利 :CN103424205A ,2013-12-04

[3]

温度测量装置和温度测量方法 [P].

松土龙夫 ;

舆水地盐 .

中国专利 :CN102692282B ,2012-09-26

[4]

温度测量装置和温度测量方法 [P].

小林晓 ;

柳泽隆行 .

日本专利 :CN117355731A ,2024-01-05

[5]

温度测量方法和温度测量装置 [P].

P·D·托马希茨 ;

C·里诺 .

中国专利 :CN115704717A ,2023-02-17

[6]

温度测量装置和温度测量方法 [P].

阿部淳 ;

松土龙夫 ;

舆水地盐 .

中国专利 :CN101532885A ,2009-09-16

[7]

用于温度确定的温度测量装置和方法 [P].

P.乌德 ;

W.达克 ;

J.霍斯特科特 ;

G.佐萨莱 ;

J.格布哈特 ;

P.萨斯 ;

A.德克 .

中国专利 :CN111108353B ,2020-05-05

[8]

温度测量装置、温度测量方法和温度测量程序 [P].

宇野和史 ;

笠岛丈夫 ;

有冈孝祐 ;

福田裕幸 .

中国专利 :CN107615028A ,2018-01-19

[9]

用于温度测量装置的中间组件和温度测量装置 [P].

M·姆巴伊 ;

T·古林 ;

E·费兰德 ;

J·斯蒂克伯格 ;

J·拉特 .

中国专利 :CN214277205U ,2021-09-24

[10]

用于测量熔融金属温度的温度测量装置与温度测量方法 [P].

谢淇先 ;

张玖 ;

梅国晖 ;

梁斌 ;

孙杰 .

中国专利 :CN109211412A ,2019-01-15

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