一种静电吸附装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323103504.X

申请日：

2023-11-17

公开(公告)号：

CN221102047U

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

廖林奉洛阳丁威

申请人：

成都骏创科技有限公司

申请人地址：

611730 四川省成都市高新区天映路11号2栋1层109号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

B32B15/20 B32B15/08 B32B27/28 B32B9/04 B32B33/00

代理机构：

杭州坚果知识产权代理事务所(普通合伙) 33366

代理人：

张剑英

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种静电吸附装置及静电吸附盒装置 [P].

马洪生 .

中国专利 :CN217119335U ,2022-08-05

[2]

静电卡盘、静电吸附装置及半导体设备 [P].

金屹梵 ;

刘普然 .

中国专利 :CN223321252U ,2025-09-09

[3]

一种静电吸附装置 [P].

李国春 ;

屈亚林 .

中国专利 :CN205631231U ,2016-10-12

[4]

一种静电吸附装置 [P].

李鹏程 ;

陈姣 ;

徐斌 ;

严莉 .

中国专利 :CN220836091U ,2024-04-26

[5]

一种静电吸附装置 [P].

江旭初 ;

孙志鹏 ;

陶伟杰 .

中国专利 :CN223487029U ,2025-10-28

[6]

一种静电吸附装置 [P].

吾文龙 ;

欧阳勋 ;

何江涛 ;

徐君 ;

钟永均 .

中国专利 :CN201986250U ,2011-09-21

[7]

一种静电吸附装置 [P].

马洪生 .

中国专利 :CN221063095U ,2024-06-04

[8]

一种静电吸附装置 [P].

丁海军 .

中国专利 :CN206597635U ,2017-10-31

[9]

一种静电吸附装置 [P].

朱龙洋 .

中国专利 :CN211385412U ,2020-09-01

[10]

一种静电吸附装置 [P].

江旭初 ;

孙志鹏 ;

吴宇航 ;

陶伟杰 .

中国专利 :CN223273256U ,2025-08-26

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