鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311326718.5

申请日：

2023-10-13

公开(公告)号：

CN117886728A

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

福岛将大

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C381/12

IPC分类号：

C07C309/73 C07C309/71 C07C309/66 C07C309/65 C07D333/76 C07D333/54 C07D327/06 C07C211/63 C07C25/18 C07C309/12 C07D327/08 G03F7/004 G03F7/038

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

畠山润 .

日本专利 :CN118878505A ,2024-11-01

[2]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121064080A ,2025-12-05

[3]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

樋田源太郎 .

日本专利 :CN120829378A ,2025-10-24

[4]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121045048A ,2025-12-02

[5]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

大桥正树 ;

畠山润 .

日本专利 :CN119431206A ,2025-02-14

[6]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物、及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

渡边朝美 ;

山田健司 .

日本专利 :CN117586162A ,2024-02-23

[7]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN120590366A ,2025-09-05

[8]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN120504646A ,2025-08-19

[9]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN119569626A ,2025-03-07

[10]

鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121064081A ,2025-12-05

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C07C 381/12申请日:20231013
2024-04-16	公开	公开